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磁控溅射镀膜机
编辑: 浏览量: 发布日期:2021年4月13日


品牌:Angstrom Engineering

产地:加拿大

价格:面议

技术参数:

高真空磁控镀膜机设备可用于制备金属,氧化物半导体,以及有机物薄膜,并且镀膜温区可以从液氮温度到850 ,极限真空可到1*10-5 Pa以下。设备主要包括1个直流溅射源、两个交流溅射源和一个热蒸发源,溅射腔体、真空系统、气路水路系统、电脑控制系统、膜厚测量、加热和制冷系统等。

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